電子級2,3,4,4'-四羥基二苯甲酮 1,2-二疊氮基萘醌-5-磺酸酯是一種功能性光敏化合物，結合了多羥基二苯甲酮的紫外吸收性能與疊氮基的光反應特性，廣泛應用于高端光刻膠和光敏材料中。其穩(wěn)定的分子結構和優(yōu)異的電子級純度使其成為微電子領域關鍵的光敏添加劑。

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【物理性質(zhì)】

基本性質(zhì)

（1）化學名稱：2,3,4,4'-四羥基二苯甲酮 1,2-二疊氮基萘醌-5-磺酸酯。

（2）分子式：C₂₃H₁₆N₂O₉S

（3）分子量：496.45 g/mol

外觀與溶解性

（1）外觀：淺黃色至橙色粉末或結晶。

（2）溶解性：易溶于二甲基亞砜（DMSO）、甲醇等極性有機溶劑。

熱穩(wěn)定性與純度

（1）熱穩(wěn)定性：分解溫度高于180℃。

（2）純度：≥99.5%，符合電子級質(zhì)量要求。

【應用領域】

光刻膠制造

（1）作為光敏材料的關鍵成分，增強光刻膠對紫外光的響應速度。

（2）支持深紫外（DUV）和極紫外（EUV）光刻工藝，滿足高分辨率需求。

電子材料生產(chǎn)

（1）應用于光刻膠掩膜、光敏涂層等高性能電子材料中。

（2）提高微電子元器件的制造精度和光敏性能。

其他光敏應用

（1）用于高端顯示器和柔性電子產(chǎn)品制造中的光敏技術。

（2）在光化學反應中作為光引發(fā)劑，提高反應效率與選擇性。