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dimethyl(3-(9-oxo-9H-thioxanthen-2-yl)phenyl)sulfonium trifluoromethanesulfonate

ProductNum CAS No. MDL No. PubChem ID Formula MW Purity Appearance
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Product Name dimethyl(3-(9-oxo-9H-thioxanthen-2-yl)phenyl)sulfonium trifluoromethanesulfonate
CAS2135770-47-5
ProductNumYH82039
FormulaC22H17F3O4S3
MW498.02

電子級二甲基(3-(9--9H-噻蒽-2-)苯基)硫鎓三氟甲磺酸鹽是一種高效光敏材料,具有優(yōu)異的光化學性質和化學穩(wěn)定性。該化合物廣泛應用于高分辨率光刻膠以及其他電子化學品的制備,在先進半導體和微電子器件制造領域具有重要作用。

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【物理性質】

基本性質

化學名稱:二甲基(3-(9--9H-噻蒽-2-)苯基)硫鎓三氟甲磺酸鹽

分子式:C22H17F3O4S3

分子量:498.02 g/mol

外觀與溶解性

外觀:黃色至淺橙色結晶粉末

溶解性:易溶于乙腈、二氯甲烷、甲醇等極性有機溶劑

熱穩(wěn)定性與儲存條件

熔點:約120-130℃

儲存條件:避光儲存于0-10℃的干燥環(huán)境,防止受潮和氧化

【應用領域】

光刻膠配方

作為光敏劑和光產酸劑,在高分辨率光刻膠中發(fā)揮關鍵作用。

1)增強光刻膠對紫外光和深紫外光的感光性能。

2)提高微細圖案的清晰度和邊緣對比度。

半導體制造

在先進半導體和微電子器件的光刻工藝中表現(xiàn)出色。

1)支持亞微米及納米級別的高精度圖案轉移。

2)滿足尖端芯片制造對化學材料的嚴苛要求。

其他電子應用

用于光電材料和功能涂層的制備。

1)改善光電設備的光學性能和穩(wěn)定性。

2)用于顯示技術和傳感器的關鍵材料層。


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86-571-82693216
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