電子級(jí)1-(2-氧代-2-苯乙基)四氫噻吩鎓1,1,2,2,3,3,4,4,4-九氟丁烷磺酸鹽是一種高純度光敏化合物，廣泛應(yīng)用于光刻膠材料及微電子加工領(lǐng)域。其分子設(shè)計(jì)結(jié)合了噻吩鎓離子的優(yōu)異化學(xué)穩(wěn)定性與九氟丁烷磺酸根的強(qiáng)親電性，能夠在光刻過程中生成高活性的酸，滿足高分辨率和低缺陷率的生產(chǎn)需求，是先進(jìn)制程光刻工藝中的重要助劑。

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【物理性質(zhì)】

基本性質(zhì)

化學(xué)名稱：1-(2-氧代-2-苯乙基)四氫噻吩鎓1,1,2,2,3,3,4,4,4-九氟丁烷磺酸鹽

分子式：C₁₆H₁₅F₉O₄S₂

分子量：506.4 g/mol

外觀與溶解性

外觀：白色至淺黃色粉末或晶體

溶解性：易溶于乙腈、丙酮等有機(jī)溶劑，不溶于水

熱穩(wěn)定性與儲(chǔ)存條件

熔點(diǎn)：約160℃

儲(chǔ)存條件：密封避光儲(chǔ)存，建議溫度范圍為0-10℃，防止受潮和分解

【應(yīng)用領(lǐng)域】

光刻膠材料

作為光刻膠的產(chǎn)酸劑，在紫外（UV）和深紫外（DUV）光刻工藝中具有卓越性能。

（1）提高光刻膠的光敏響應(yīng)速度和顯影精度。

（2）改善光刻圖案的清晰度和邊緣直線性。

半導(dǎo)體制造

用于先進(jìn)制程工藝（如EUV和高精度UV光刻）中，支持微米及亞微米級(jí)圖案轉(zhuǎn)移。

（1）優(yōu)化刻蝕過程中的酸生成效率，提高工藝一致性。

（2）適用于晶圓、封裝等關(guān)鍵領(lǐng)域的精密制造。

功能性涂層與光敏材料

在高分辨率顯示面板和傳感器的制造中，提供穩(wěn)定的化學(xué)與光學(xué)性能。

（1）增強(qiáng)涂層材料的光敏特性，滿足多種精密加工需求。

（2）為光學(xué)元件加工提供高效的光敏化學(xué)解決方案。